4. 参考文献 [1] Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryouichi Takayama, Shuji Tanaka, “CHARACTERIZATION OF EPITAXIAL-PZT/SI PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER (PMUT) AND ITS PHASED ARRAY SYSTEM” The proceedings of Transducers 2019. p. 246 - 249 2019年6月 5. 連絡先 〒980-8579宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01 機械知能系共同棟113号室田中(秀)研究室 TEL: 022-795-6937 FAX: 022-795-6935 図2PDMS製ファントムの構造と一次元イメージングデモの方法 図3 (a) 取得した超音波画像(b) (a)のA-A’部に沿った信号プロファイル (a) (b) 図1 (a) 試作した単結晶PZT薄膜を用いたpMUT一次元アレイの概略図, (b)光学顕微鏡写真 (a) (b) −147−
元のページ ../index.html#153